當(dāng)前位置：首頁 > 產(chǎn)品中心 > 晶圓缺陷檢測 > LAZIN > LODAS™ – BI8Photomask Blanks缺陷檢查裝置
簡要描述：LODAS™ – BI8是列真株式會社推出的一款Photomask Blanks缺陷檢查裝置。
產(chǎn)品型號：LODAS™ – BI8廠商性質(zhì)：代理商產(chǎn)品資料：更新時間：2024-11-09訪 問 量： 2338產(chǎn)品分類
Product Category詳細(xì)介紹
列真株式會社自創(chuàng)業(yè)以來，秉承“挑戰(zhàn)"、“創(chuàng)造"、“誠實(shí)"的經(jīng)營理念，為顧客提供可靠、可信的產(chǎn)品和服務(wù)。運(yùn)用激光掃描技術(shù)，專門制造、銷售半導(dǎo)體材料表面及內(nèi)部檢查、石英玻璃表面檢查等檢查裝置。
特征：
可檢查鉻膜、半色調(diào)膜、光阻膜
白缺陷、黑缺陷的自動判別
不僅是表面缺陷，內(nèi)部缺陷和背面缺陷也同時檢查。
有助于缺陷分析的4種Review圖像。
“AI Classify"進(jìn)行缺陷分類、好壞判定。
免維護(hù)。
世界FIRST使用反射散射光、透射散射光、共聚焦光的混合檢查裝置。
能檢出至今為止檢查不出的缺陷。
檢出缺陷：顆粒、劃痕、凹坑、氣泡。
規(guī)格：
檢查激光：405nm 200mW LaserDiode
檢查時間：180sec
檢查對象：6英寸 Photomask blanks
設(shè)備尺寸：WxDxH＝450x500x730mm
使用電源：AC100V~200V 10A
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