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        Photomask Blanks缺陷檢查裝置

        簡要描述:LODAS™ – AI50/100是列真株式會社推出的一款Photomask Blanks缺陷檢查裝置。

        • 產(chǎn)品型號:LODAS™ – AI50/100
        • 廠商性質(zhì):代理商
        • 產(chǎn)品資料:
        • 更新時間:2024-11-09
        • 訪  問  量: 2466

        詳細(xì)介紹

        列真株式會社自創(chuàng)業(yè)以來,秉承“挑戰(zhàn)"、“創(chuàng)造"、“誠實(shí)"的經(jīng)營理念,為顧客提供可靠、可信的產(chǎn)品和服務(wù)。運(yùn)用激光掃描技術(shù),專門制造、銷售半導(dǎo)體材料表面及內(nèi)部檢查、石英玻璃表面檢查等檢查裝置。


        特征:

        • 半導(dǎo)體用Photomask Blanks的出廠檢查、工藝評價

        • 用微分干涉顯微鏡分析缺陷

        • 檢查對象:Photomask Substrate、Cr、Resist、MoSi

        • 檢查項目:顆粒、內(nèi)部缺陷(Option)

        • 檢查靈敏度:PDM缺陷尺寸0.1μm(AI00)

        列真公司檢查裝置的維護(hù)、修理

        • 定期支持裝置安裝完成后的性能維持。

        • 24小時電話對應(yīng),全年無休的安心支持。

        • 認(rèn)真對待客戶新的要求。

        • 召開技術(shù)研討會和充實(shí)各種手冊,讓顧客能夠自行維護(hù)和更換零件。

        • 提供HDD、激光光源等消耗品的免費(fèi)診斷服務(wù)。




        產(chǎn)品咨詢

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