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        當(dāng)前位置：首頁  >  產(chǎn)品中心  >  EVG鍵合機(jī)  >  對(duì)準(zhǔn)設(shè)備  >  EVG610 BA晶圓對(duì)準(zhǔn)設(shè)備

        

        
 


        
	
    
         
        
        
            
        
                        
        
                             
                            
        
                            
                            
        
                        
        
                        
        
                            
                            
        
                                
          
                                
                                    
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        晶圓對(duì)準(zhǔn)設(shè)備
        
            
        簡要描述：晶圓缺陷檢測設(shè)備專為晶圓與晶圓對(duì)準(zhǔn)設(shè)計(jì)，晶圓尺寸大可達(dá)150 mm。EV Group鍵合對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)提供手動(dòng)高精度帶有底部顯微鏡的校準(zhǔn)臺(tái)。EVG的鍵合對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的精度能滿足MEMS生產(chǎn)和3D集成應(yīng)用等新興領(lǐng)域中苛刻的對(duì)準(zhǔn)要求。
        
            
          
    
        • 產(chǎn)品型號(hào)：EVG610 BA
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        • 廠商性質(zhì)：代理商
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        • 產(chǎn)品資料：
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        • 更新時(shí)間：2024-11-09
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        • 訪  問  量： 4731
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        詳細(xì)介紹
        
            
        
            	
        　　晶圓缺陷檢測設(shè)備用于晶圓到晶圓對(duì)準(zhǔn)的手動(dòng)鍵合對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，適用于學(xué)校和工業(yè)研究。
        　　一、簡介
        　　EVG610鍵合對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)專為晶圓與晶圓對(duì)準(zhǔn)設(shè)計(jì)，晶圓尺寸最大可達(dá)150 mm。EV Group鍵合對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)提供手動(dòng)高精度帶有底部顯微鏡的校準(zhǔn)臺(tái)。EVG的鍵合對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的精度能滿足MEMS生產(chǎn)和3D集成應(yīng)用等新興領(lǐng)域中苛刻的對(duì)準(zhǔn)要求。
         
        　　二、特征
        　　zui適用于EVG501和EVG510鍵合系統(tǒng)
        　　晶圓和基板尺寸可達(dá)150/200 mm
        　　手動(dòng)高精度對(duì)準(zhǔn)
        　　手動(dòng)底側(cè)顯微鏡
        　　基于Windows系統(tǒng)的用戶界面
        　　*的多用戶概念(無限數(shù)量的用戶帳戶，各種訪問權(quán)限，不同的用戶界面語言)
        　　桌面系統(tǒng)設(shè)計(jì)，占地面積zui小
        　　支持IR對(duì)準(zhǔn)過程
        　　研發(fā)和試生產(chǎn)線的zui低的擁有成本(TCO)
        三、技術(shù)參數(shù)
        　　1.基本配置：
        　　臺(tái)式
        　　機(jī)架：可選
        　　隔振模式：被動(dòng)
        　　2.對(duì)準(zhǔn)方式：
        　　背部對(duì)住精度：±2μm 3 σ
        　　透射對(duì)準(zhǔn)精度：±1μm 3 σ
        　　紅外對(duì)準(zhǔn)：可選
        　　3.對(duì)準(zhǔn)臺(tái)：
        　　高精度測微計(jì)：手動(dòng)
        　　可選：機(jī)械測微計(jì)
        　　楔形補(bǔ)償：自動(dòng)
         
         
         
         
            
        
            
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                請(qǐng)輸入計(jì)算結(jié)果（填寫阿拉伯?dāng)?shù)字），如：三加四=7
            
          
		
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