納米壓痕技術(shù)也稱深度敏感壓痕技術(shù)，是測試材料力學性質(zhì)的方法之一，可以在納米尺度上測量材料的各種力學性質(zhì)，如載荷-位移曲線、彈性模量、硬度、斷裂韌性、應(yīng)變硬化效應(yīng)、粘彈性或蠕變行為等。可適用于有機或無機、軟質(zhì)或硬質(zhì)材料的檢測分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩繪釉漆，光學薄膜，微電子鍍膜，保護性薄膜，裝飾性薄膜等等。

影響納米壓痕試驗的因素很多，主要影響因素可歸納為以下幾種：

1.接觸零點的確定

2.力和位移的測定包括環(huán)境波動的影響和磁場強度所引起的變化

3.卸載曲線的擬合

4.熱漂移速率

5.由于表面粗糙度引起的接觸面積變化

6.力,位移的校準值

7.試驗設(shè)備的柔度

8.壓頭面積函數(shù)的校準值

9.由于試驗設(shè)備的溫度和最后一次校準后時間不確定度引起的校準漂移

10.試樣表面與壓入方向的不垂直度。